当前所在位置: 首页 > 产品首页 >液压、气动 >阀门 >流量调节器/限流器/节流阀 >HORIBA高温应用质量流量控制器SEC-8000 系列
产品介绍
概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
适用于高温：可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型：接气部全不锈钢构造最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
规格参数
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SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器 |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載 |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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SEC-8440LSL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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SEC-8450LSL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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SEC-8455LSL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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SEC-8460LSL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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SEC-8440LSM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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SEC-8450LSM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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SEC-8455LSM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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SEC-8460LSM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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SEC-8440LSH |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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SEC-8450LSH |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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SEC-8455LSH |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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SEC-8460LSH |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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SEC-8440SL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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SEC-8450SL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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SEC-8455SL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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SEC-8460SL |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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SEC-8440SM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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SEC-8450SM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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SEC-8455SM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
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阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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SEC-8460SM |
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气体接触部材质 |
SUS-316L |
|
阀门类型 |
NO: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范围 |
2?100％ F.S.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
津公网安备12010102000946号
