压力控制

该控制器可确保快速，准确的压力控制。操作LEARN功能只需启动一次，系统参数是自动确定的。由于自适应算法的控制器连续适应于加工过程条件（气体、气体流量），从而确保在任何时候都有压力控制。

位置控制

在位置控制模式下，阀板可以移动到任何位置。

显示

状态和位置是4位的数字显示。

遥控操作

所述阀可以由主机计算机通过RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太网、现场总线、CC链路或EtherCAT的接口进行控制。 RS232接口与现场总线也有数字输入以关闭和打开所述阀。此外，数字输出可用于开放和关闭（阀的状态）。控制通过逻辑控制接口，通过数字以及模拟输入和输出进行。

应用

半导体，FPD和工业过程，特别是化学气相沉积系统。