分析原理

多波长椭圆偏振法（MWETR）

ASTM D3241-18

附录A4中批准的标准方法

沉积厚度范围

0至500 nm

沉积量范围

0至0.5 mm3

重复性

<2 nm

重现性

<4 nm

测量点数

1200

环境温度

10°至35°C / 50°至95°F

海拔

小于2000公吨。

测试样品

普通/智能加热管

测试时间

<10分钟

RFID阅读器

是

用户界面

10.8“彩色触摸屏

样品加载

加热器管插件

测试结果

加热器管插件

样品编号

通过/失败结果

沉积厚度

存款量

2D和3D色彩图

特殊功能

通过/失败指示，事件日志

内部存储器

多达2000个结果

校准/验证日志

自定义验证范围选择

密码保护

是

输出

3个USB，1个以太网LAN

网络打印机连接

是

尺寸（宽x高x厚（英寸/厘米））

仪器：10 x 14 x 16.5英寸/ 25.4 x 35.5 x42厘米

板条箱：29 x 34 x 29英寸/ 73.6 x 86.3厘米。

重量（磅/千克）

仅仪器：33磅。 / 15公斤。

装箱的仪器

130磅 / 59公斤

电气（电压/频率）

100V至240V-50/60 Hz或12V / 5A .DC