VPM-5 SmartPirani 真空传感器基于新型技术，具有同类更好的性能，将热导真空计的可用真空测量范围扩大了 1-3 倍，从而确立了新的性能标准。SmartPirani 真空测量传感器采用 MEMS（微机电系统）传感器技术，并结合了 Sens4 自身的新型数字信号处理架构和创新测量算法。结合准密的自动化制造和校准流程，这款产品可提供无懈可击的测量性能。通过集成 MEMS 隔膜传感器，消除了热导率真空计在粗真空范围内众所周知的气体依赖性，其精度性能可与更昂贵的电容式压力计媲美。这一特性可确保对真空系统排气过程进行更准确的控制，并可防止真空系统过压。

从 1.0E-6 到 1333  mbar，9 个分度的超宽测量范围

性价比高

气体独立测量范围从 2 到 1 333  mbar

通过 USB 编程器轻松配置

0-10 VDC 可编程电压输出

数字 RS-232 或 RS-485 接口

引脚和输出与其他供应商的压力表兼容

可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护，用于腐蚀性应用

可选固态设定点继电器，用于外部控制

产地：丹麦

测量范围（mbar）：1x10^-6 至 1333  mbar（7.5x10^-7 至 1000 托）

测量原理 1x10^-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 热导率

测量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 压电读数

测量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 压电电阻膜片

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5：读数的 25%

精度 1x10^-4 至 7.99 mbar：读数的 5%

精度 8.00 至 99.9 mbar：读数的 1%

精度 100 至 800 mbar：读数的 0.5%

精度 800 至 1099 mbar：读数的 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar：读数的 0.5%

滞后 1x10^-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %

磁滞 10 至 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%

模拟输出分辨率：16 位 (150 μV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间（ISO 19685:2017）：<20 ms

温度补偿：+10 至 +50 °C

固态继电器设定点范围：5x10^-6 至 1333  mbar（3.75x10^-6 至 1000 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mA_rms / mA_Dc

固态继电器认证：UL 认证： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 °C

介质温度：-20 至 +50 °C

存储环境温度：-40 至 +120 °C

烘烤温度（非工作）：+120 °C

Max ABS介质压力：10 Bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40

湿度：98%，无冷凝

电源电压：12-30 VDC

Max功耗：240 mW

反极性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

分析仪器、半导体加工、真空炉、薄膜镀膜、太空模拟和飞行