步进电机驱动的工作台，非常适合定位需要高刚度和高精度的测量仪器或检查工具。

• 800 mm的行程范围允许其在大范围内移动。
• U形导轨重量轻，挠度小，可实现高刚度。
• 平移电动平台-5相步进电机。

速度：max.120mm/秒

平台材料：铝

传感器零件号

微光传感器：GP1S092HCPIF（夏普公司）

平台尺寸：120×120mm

背隙：3μm

节距：45〃

力矩刚度/节距：0.12〃/N･cm

力矩刚度/偏航：0.08〃/N･cm

力矩刚度/滚动：0.1〃/N･cm

偏航：30〃

限位传感器（正常关闭）：配备

运动损失：5μm

定位精度：30μm

定位滑轨：外导轨结构

行程：800mm

接近原点传感器（正常打开）：配备

位置重复性：8μm

原点传感器（正常打开）：配备

重量：15.8kg

运行平行度：30μm

进给螺杆滚珠丝杠直径：φ10mm，10mm导程

负载能力：196N（20.0kgf）

涂层：黑色阳极氧化

分辨率（全）：20μm/脉冲

分辨率（一半）：10μm/脉冲

平行度：50μm

传感器/输出逻辑

阴影时：输出晶体管关闭（不导通）：限位传感器

阴影时：输出晶体管ON（导通）：原点传感器、接近原点传感器

传感器/电流消耗：80mA或更低（每个传感器20mA或更低）

传感器/控制输出：NPN开路集电极输出DC30V或更低，50mA或更低

传感器/电源电压：DC5～24V±10%

电机/电机步进角：0.72°

电机/电机类型：5相步进电机0.75A/相（Tamagawa Seiki Co.，Ltd.）

电机/电机零件号：TS3667N43E967(□42毫米）

兼容控制器：SHOT-702H、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-MV・HIT-SA、PGC-04-U、HSC-103

兼容驱动程序：MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-S7514PCL