常规隔膜阀（CDV）系列包括超高纯版本，根据相关SEMI规范制造，具有更高的可靠性。

• 阀座设计和双层隔膜可延长循环寿命并减少颗粒产生。
• 完全清扫润湿路径，以减少截留，促进吹扫，更大限度地提高Cv，同时更小化内部体积。
• 气动执行器可在执行时快速响应。
• 手动和混合执行器指示可视的四分之一圈打开和关闭位置。
• 可根据要求提供自定义配置。

1、 阀体316L SST SEMI F20

2、 阀座PCTFE

3、 隔膜Elgiloy

4、 按钮316L不锈钢

5、 阀盖303 SST

6、 螺母303 SST

7、 执行机构阳极氧化铝

产地：美国

气动工作压力：真空至150 PSIG

¼手动工作压力：真空至250 PSIG

混合工作压力：真空至150 PSIG

防爆压力：1.5 x工作压力

爆裂压力：4500 PSIG

表面粗糙度

标准：≤16 Ra µ inch

高纯度：6-10 Ra µ inch

超高纯度：≤5 Ra µ inch

流量系数：Cv=0.3

气动执行机构驱动压力：65-125 PSIG

卡套管集成接头：1/8“-27 NPT 1/8”，M5气动或1/8“

手动和混合执行器：¼转手动

内侧泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

外侧泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

通过阀座的泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

温度，阀座材料：

-40°F至150°F（-40°C至66°C），PCTFE

-40°F至300°F（40°C至150°C）、PEEK

-15°F至300°F（-10°C至150°C），PFA，VESPEL