Entegris 在满足当今 200 mm 晶圆厂的自动化、污染控制和生产率要求方面处于一定的地位。我们的 200 mm 晶圆存储盒提供良好的保护，并提供自动和手动处理功能。周到的污染控制设计可很大限度地减少微粒的产生。我们的产品组合包括 HA200 系列、E99 系列和 E210 系列晶圆盒，并提供多种选件以满足您的特定应用需求。

设计用于很大限度地减少晶圆颤动和载体移动所产生的微粒，并增加 ESD 保护功能

与自动化兼容

晶片倾斜可很大限度地减少晶片震颤

单载体容量，可轻松堆叠

平底

可容纳选定的 25 个容量的晶片载体，不包括宽法兰载体

STAT-PRO 175 材料，可选聚碳酸酯盖板

迁移路径与 STAT-PRO 100 材料兼容

HA200 系列存储盒：性能高的 200 毫米存储盒，可提供自动和手动处理功能。其设计特点可很大限度地减少晶圆颤动和载体移动所产生的微粒。

E99 系列存储盒：行业标准，可为空间有限的堆垛机和在制品机架提供很大的堆垛密度。

E210 系列存储盒：可与宽法兰载体实现自动化兼容，并方便人工搬运。它们的特点是很大限度地减少晶圆颤动和载体移动产生的微粒。

彩色箱盖：提供蓝色、绿色和灰色 STAT-PRO 175 和 EMSTAT AR 材料箱盖；提供红色、蓝色、绿色和紫外线过滤琥珀色聚碳酸酯箱盖。

识别选项：激光标记；卡座： E005-1-XXXX；烫印；彩色 ID 标签；条形码标签

灵活的Traveler信封：可容纳 127 × 216 mm (5.0 × 8.5") 厚度不超过 3.2 mm (0.13") 的Traveler；与选定的 200 mm 存储盒兼容；PVC 材料；部件编号： E96-1-1613（适用于 E99） TR33-0100-P（适用于 HA200）

产地：美国

兼容运输工具：192/198 系列、20X 系列和部分 200 系列运输工具

与Travelers兼容：否

盖子材料：STAT-PRO 175

底部材料：STAT-PRO 175

锁扣材料：PBT

锁销样式：摆动销

底部材料颜色：黑色

盖子材料颜色：黑色

铰链：标准

外形尺寸：285 × 272 × 241 毫米（11.2 × 10.7 × 9.5 英寸）

厂内运输、工艺工具接口、工厂晶圆存储