提供同步流量和压力输出。无论是自动化、过程控制还是保障问题都需要流量和压力测量，仪表须清洁、准确、可靠。为满足半导体行业的需求，Entegris 将新型的电子传感技术与高纯度材料相结合，创造出可更好地控制过程变量的产品。InVue NT4400 电子流量计专为半导体行业的高纯应用而设计，可与高腐蚀性工艺兼容。穿流设计很大限度地减少了死体积，降低了工艺污染的可能性。该仪器的所有润湿部件均采用聚四氟乙烯和其他高纯度含氟聚合物。该仪器采用非金属压力传感技术，利用压差提供准确可靠的流量和压力测量。流量和压力测量不受气泡或残留蒸汽的影响。所有产品均在出厂前经过校准和 完整验证，无需现场校准，安装简单。标准电子输出可与 PLC、控制系统和电子显示器轻松集成。

无运动部件，不会产生微粒

非金属传感技术，测量可靠

内置压力传感器，可提供额外的过程信息

流过式设计可很大限度地减少死体积

1 % 满刻度精度，用于关键测量

易于在任何方向安装

产地：美国

润湿部件主体：聚四氟乙烯

传感器接口：PFA 或 CTFE

主密封件：Perfrez

非润湿部件：聚丙烯、聚乙烯、PVDF 和 PVC 或 FEP 护套电缆（除上述材料外）

工艺温度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

电气输入：24 VDC（12至28 VDC 输入电压）

电气输出：两个 4至20 mA 隔离输出，一个为流量输出，一个为出口压力输出

压降：80 % 流量时为 21 kPa (3 PSID)，10：1 降压比

流量测量精度

量程的 20 %至满：± 1.0 % FS

量程的 10 至 20 %：± 2.5 % FS

(精度以满量程 FS 的百分比表示，使用 70 °F [23 °C] 下的去离子水，包括线性、滞后和重复性的综合影响）

量程的 20 %至满：± 0.5 % FS

量程的 10 至 20 %：± 1.0 % FS

压力测量范围：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

Min工作压力（出口处）：7 kPa (1 psig)

Max工作压力：414 kPa (60 psig)

过压限制：690 kPa (100 psig)

压力测量精度：满刻度的 ± 1 %(包括线性、滞后和重复性的综合影响）

电气外壳：IP54

符合认证：CE、ETL

符合标准：ANSI/ISA  12.12.01、UL 标准 61010-1

可测量流量和管路压力，适合在以下应用中监测和控制流量：化学品、去离子水和浆料分配

准确混合和计量、用于监管转移的总流量、系统诊断