有效去除散装气体中的 H₂O、CO、CO₂、H₂ 和 THC 杂质催化剂和吸附器 MegaTorr PS6 系列含氧气体净化器采用增强型优化设计，体积小巧，性能达到亚ppb 级。Entegris 凭借在超纯度 (UHP) 管道设计、新型工艺材料分析和集成控制系统方面的多年经验，开发了这一系列净化器，以满足低成本、高可靠性和高性能的需求。采用催化和吸附双重工艺，为半导体应用提供超纯度气体。加热催化剂容器将 CO、H₂ 和 THC 转化为 CO₂ 和 H₂O，然后两个吸附器容器交替使用净化和再生模式去除 CO₂ 和 H₂O，提供连续净化。优化设计，以较小的占地面积提供亚ppb 级性能，流量高达 16,667 slpm（1,000 Nm³/hr）。

采用双重催化和吸附工艺，专为半导体应用提供超纯度气体

碳氢化合物 (CH₄)、一氧化碳 (CO) 和氢气 (H₂) 在高温下与氧化催化剂容器中的氧气 (O₂) 发生反应，生成二氧化碳 (CO₂) 和水 (H₂O)，然后在常温吸附器容器中去除。

两个吸附器在净化和再生模式之间交替进行，提供连续的净化。

吸附器再生是通过在高温下反冲净化后的氧气来实现的

经过优化的设计可在较小的占地面积内实现亚ppb 级性能，流量高达 16,667 slpm（1,000 Nm³/hr）。

PS6-MGT15-O流量：15 Nm³/小时；250 slpm

PS6-MGT30-O流量：30 Nm³/小时；500 slpm

PS6-MGT60-O流量：60 Nm³/小时；1,000 slpm

PS6-MGT100-O流量：100 Nm³/小时；1,667 slpm

PS6-MGT200-O流量：200 Nm³/小时；3,333 slpm

PS6-MGT300-O流量：300 Nm³/小时；5,000 slpm

PS6-MGT400-O流量：400 Nm³/小时；6,667 slpm

PS6-MGT500-O流量：500 Nm³/小时；8,333 slpm

自动微处理器控制器

人机界面

系统报警

气-气热交换器

电燃气预热器

闭环温度控制

带门的全金属机柜

高温硬件联锁

过压释放系统

可提供其他流量

户外外壳选项（乳白色）

入口和出口隔离阀

带 4-20 mA 输出的质量流量计

入口和出口压力传感器

仪表空气管理系统

空气冷却热交换器

自动或手动旁路

0.003 µm 超细颗粒过滤器

独立控制电源

MODBUS 数据通讯端口

产地：美国

气体净化：O₂

杂质去除率小于 1 ppb：H₂O、CO、CO₂、H₂、CH₄

PS6-MGT15-O流量：15 Nm³/小时；250 slpm

Max压降：< 0.7 bar (70 kPa)

高度：193 cm

宽度：89 cm

深度：84 cm

重量：< 600 kg

注意事项：净化器针对特定气体，只能用于规定气体。

半导体、数据存储、平板显示器、发光二极管、太阳能