iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能，校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器（如质谱仪和扫描电子显微镜）中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器，与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比，具有同类更高的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合，可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号，或作为计算设备预测性维护的参数。

超宽测量范围达 9 个量程

3 个用于过程控制的数字设定值输出

模拟电压输出

数字 UART 接口

数字 RS-485 接口

远程零点调整

用于诊断的真空温度传感器

超紧凑设计

连接器引脚引出（10 引脚 0.5 毫米间距 FCC）引脚描述

1 电源电压 -（返回）

2 电源电压 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模拟电压信号 -（返回）

4 模拟电压信号 +

5 设定点 3 输出

6 设定点 2 输出

7 设定点 1 输出

8 UART 接收或 RS-485 B

9 UART 发送或 RS-485 A

10 远程零点输入

iVacSens 连接电缆 产品编号

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 30 mm 长 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 50 mm 长 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 100 mm 长度 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 150 mm 长 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 200 mm 长度 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 300 mm 长度 CAB-FCC10P-300

产地：丹麦

测量范围：1×10^-6 至 1,333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

测量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼热导率

测量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 压电读数

测量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 压电电阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：读数的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：读数的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：读数的 1 %

精度 100 至 800 mbar：读数的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：读数的 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar：读数的 0.5 %

磁滞 1×10^-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017)：1 %

磁滞 10 至 1,200 mbar（ISO 19685:2017）：0.1 %

真空温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

模拟输出：0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模拟输出分辨率：12 位

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

设定点范围（Abs值）：5×10^-6 至 1,333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

设定点输出高电平：> 2.9 VDC

设定点输出低电平：< 0.4 VDC

设定点输出源电流和灌电流：Max 1 mA

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

存储环境温度：-40 至 +120 ℃

烘烤温度（非工作）：+120 ℃

Max介质压力_Abs：10 bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP 40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗：25 mW（Max值）3.3 VDC 电源；95 mW（Max值）4 至 18 VDC 电源

限性反接保护：无

过压保护：无

质谱仪、扫描电子显微镜、真空泵集成、阀门集成、太空飞行、泄漏检测、飞轮储能、真空开关