Entegris 采用创新的流量控制技术解决当今流量控制的难题。InVue 集成流量控制器 (IFC) NT6510 专为超纯液体化学品、去离子水和 CMP 泥浆的使用点化学品混合和分配而设计。NT6510 控制器还设计用于有效控制产生气泡的介质，专为需要中低流量的应用而设计。它是目前较小的 InVue 集成流量控制器，为液体处理系统节省了宝贵的空间。我们的 IFC 采用成熟可靠的压差流量测量技术和新型的闭环过程控制。可视化指示器可为预防性维护、故障排除和报警条件提供诊断，使用户能够集成更准确的功能。阀座和隔膜的设计可大限度地减少死体积和流体剪切力，从而降低工艺污染的可能性。InVue IFC 的润湿部件采用氟化材料，是保护化学完整性的适配选择。此外，耐化学腐蚀的非润湿部件在恶劣的化学环境中也能发挥优良的性能。InVue IFC 采用双聚四氟乙烯阀隔膜，用于流体密封和污染保护。利用电动阀和流量计技术，封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。这些装置由设定点信号（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以将流体流量保持在所需的设定点。

与其他常用技术相比，在易产生气泡的介质中精度高

内置压力传感器，可同时进行流量和压力双输出

占地面积小，节省空间，易于安装

重复性高，可实现优良的过程控制

快速响应，实现准确的分配率

LED 状态和离散报警输出

产地：美国

润湿部件材质：

阀体、阀膜： PTFE；

传感器接口： CTFE 或 PFA；

主 O 形圈： Perfrez PXC Ultra

非润湿部件：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和尼龙（除上述材料外）

工作范围%：满量程流量的 10 至 100

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去离子水校准）

重复性：± 0.5 % 满量程

压力测量：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

压力精度：± 全量程的 1 %

工作压力：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差压要求：10 psi，差压

输出信号：两个 4 至 20 mA 电气隔离输出，一个用于流量，一个用于压力

响应时间：< 3 秒

过压限制：690 kPa (100 psig)

过程温度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

电气输入：24 VDC（± 10 %），1.2 A

设定点输入信号：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外壳：IP64

重量：约 1.8 kg（4.0 磅）

符合认证：CE

软件：基于 Windows 的界面，用于用户设置、校准、监控和数据收集

系统要求：Windows 7 或 10，8GB 内存（Min）

当前软件版本 InVue TechTool 1.0.1.3

关键分配应用、化学品添加和混合、按需化学混合