集成系统将线性或 XY 平台与转台相结合，提供交钥匙解决方案。 平台可配备直接驱动直线电机或基于滚珠丝杠的机械装置。

开放式 XY 旋转平台设计用于半导体制造行业中的晶圆处理和许多其他自动化定位应用。 位于单元侧面的 XY 驱动机构和大型中心通孔转台提供了清晰通畅的晶圆访问。

XY台：XY-OF-UL-200x200

旋转台：ACR-160UT

电机类型：无刷伺服电机/编码器（标准）

直线伺服电机（选件）

XY行程：200 x 200 mm

中心孔径：直径160 mm

分辨率（线性）：1 micron（注 1,2）

2.5 micron（注3）

分辨率（旋转）：1.4 arc-sec

重复性（线性）：5 micron（注3）

1 micron（注 1,2）

重复性（旋转）： 2 arc-sec

速度：400mm/sec（注 3）

800mm/sec（注2）

负载重量： 30 kg

载物台重量：16 kg

（注1）带线性编码器（可选）

（注2）直线伺服电机（可选）

（注 3）滚珠丝杠 10 mm 导程，无刷伺服驱动