集成系统将线性或 XY 平台与转台相结合，提供交钥匙解决方案。平台可配备直接驱动直线电机或基于滚珠丝杠的机械装置。

升降-旋转台为轻型到中等有效载荷提供准确且独立的旋转和垂直平移。该平台结合了 LSZ-12W 垂直平台和 PSR150-30 转台，外形非常紧凑，适用于空间受限的应用。

升降 Z 台LSZ12W

升降行程：12 mm

重复性：± 2µm

分辨率：1 µm

上升有效载荷：10 kg

上升力速度：25 mm/sec

机械：滚珠丝杠/楔形

电机：伺服

旋转台 PSR150-30

回转：无限制

重复性：± 2 arc-sec

分辨率：± 2 arc-sec

扭矩：6 Nm

角速度：180转

机械：直接驱动

电机：伺服