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堡盟OHDM 16光电传感器在半导体晶圆搬运中的应用

阅读次数:60    发布时间:2024-10-24 17:40:54

AI给电子产品带来新的变革,随着产品的更新与迭代,半导体行业正在迎来又一次发展的契机。今天我们就给大家介绍一款在半导体行业的案例,堡盟OHDM 16光电传感器在晶圆上下料机检测定位中的应用。

保护晶圆,提高效率晶圆是制造芯片的基础材料,晶圆的摆放与移动也是半导体工艺开始的最初工序。为了配合晶圆后期的芯片成品生产工艺,一般晶圆的上下料采用自动化的方式,由机械手负责夹取。但晶圆十分脆弱,在移动中很容易因轻微碰撞而产生损耗。

在实际的搬运场景中,晶圆是一片一片存放在晶圆蛋糕盒中或者叫传输盒中,有序地被机械手臂抽取出来并分片传送出去,所以必须对蛋糕盒加装晶圆定位传感器。定位传感器必须有较高的精准度,因为它影响着整个系统动作的流畅度。

堡盟OHDM 16光电传感器在该应用中很好的发挥了做用,它采用了漫反射和背景抑制性的原理,采用激光对晶圆的边缘进行定位。它的定位精准,晶圆的厚度非常薄,约为0.1~0.8mm,且边缘为弧形,较为光亮,但这些条件都不会影响它的精准定位。

堡盟OHDM 16光电传感器的出色定位能力,与它的创新设计密不可分,正是这样的优势与特点让其成为晶圆检测中的不二之选。

产品特点:

1、它的晶圆定位版本可以用于晶圆边缘的侧面检测。

2、大感应范围感应距离Tw 123 … 143 mm||感应距离不可调。

3、采用了坚硬金属外壳,因此也更加坚固耐用。

4、它拥有更好的重复精度,重复精度在激光焦点处< 0,1 mm,夹取的反复动作更加精确,可靠。

5、它采用了2级线激光对晶圆进行测试,拥有很好的稳定性,并且线光斑对于高反光表面性能较好,不存在反光无法测量等状况。

6、它拥有很好的带背景抑制功能,对位置控制较为稳定。


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