VSH系列数字组合真空传感器测量从大气压到高真空的绝对压力。

• 宽测量范围：宽范围组合传感器 Pirani / Bayard Alpert
• 准确：良好的准确性和可重复性
• 抗吹性：Bayard Alpert 具有抗吹性，钇涂层双丝
• 坚固：长期测试证实了良好的使用寿命：高达 100,000 次冲击排气周期
• 长寿命：在较低压力下开启热阴极可提高耐用性
• 智能

• 测量原理：热传导皮拉尼/热阴极 Bayard Alpert, dep.关于气体类型
• 测量范围：1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)
• max过载：4 bar
• 精度：1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.
• 重复性：10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%
• 发射电流：9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA
• 脱气方式：阳极欧姆加热
• 反应时间：50 ms（发射电流切换<2s）
• 工作温度：+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)
• 储存温度：-40...+65°C
• 烘烤温度：max法兰处 180°C（电源关闭）
• 供电电压：20 - 30 VDC
• 输出信号：0 - 10 VDC, min. 10 k，测量范围 1.219 - 8.6 VDC，log.EtherCAT、Profinet 除外
• 数字接口：RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet
• 开关点：2x 继电器，无电位，49 VAC / 2 A，30 VDC / 2 A，max 60 VA，除了 EtherCAT、Profinet
• 真空连接：DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)
• 防护等级：高达IP54（SubD带XB15SL05适配器）
• 重量：约 475克 (VSH88)