Entegris 采用创新的流量控制技术解决当今流量控制的难题。InVue 集成流量控制器 (IFC) 6550 型专为大宗化学品流量控制而设计。IFC 6550 型的设计流量为 60、90 或 120 L/min，是实验室散装化学品输送应用和需要大流量的液体流体处理系统的适配之选。集成式流量控制器采用成熟可靠的差压流量测量技术和先进的闭环过程控制。可视指示器可为预防性维护、故障排除和报警条件提供诊断，使用户能够集成更多的过程功能。InVue 6550 型集成流量控制器设计用于超纯液体化学品、去离子水和 CMP 泥浆应用。它还设计用于有效控制产生气泡的介质。阀座和隔膜的设计大限度地减少了死体积和流体剪切力，从而降低了工艺污染的可能性。IFC 6550 型的润湿部件采用氟化材料，是保护化学完整性的选择。此外，耐化学腐蚀的非润湿部件在恶劣的化学环境中也有良好的表现。InVue 6550 型集成流量控制器采用独特的 PTFE 阀膜片，可实现大流量流体控制。利用电动阀和流量计技术，封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。该产品由设定点信号（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以将流体流量保持在所需的设定点。

内置压力传感器，可提供更多过程信息

经证实，对产生气泡的介质具有高测量和控制能力

设计坚固，具有稳定性和长期可靠性

精度高，适用于关键分配应用

快速响应，实现准确的分配率

LED 状态和离散报警输出，用于视觉和电子诊断

可按任何方向安装

14G02：14 针配接 Turck 连接器，带 2 米（6.5 英尺）PVC 护套电缆

14G05：14 针配接 Turck 连接器，带 5 米（16.4 英尺）PVC 护套电缆

14G10：14 针配接 Turck 连接器，带 10 米（32.8 英尺）PVC 护套电缆

产地：美国

阀体材料：PTFE , PFA

膜片材料：PTFE

传感器接口材料：CTFE 或 PFA

主 O 形圈材料：Perfrez PXC Ultra

非润湿部件材料：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和 PVC（除上述材料外）

工作范围：10 % 至满量程流量

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去离子水校准）

重复性：± 0.5 % 满量程

压力测量输出：0 - 689 kPa (0-100 psig)

压力精度：± 全量程的 1 %

工作压力：103 - 552 kPa (15 - 80 psig) (60 L/min, 90 L/min)；172 - 552 kPa (25 - 80 psig) (120 L/min)

Min压差要求：≥ 15 psi，（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psi，（120 L/min）

输出信号：两个 4 - 20 mA 电气隔离输出，一个用于流量，一个用于压力

响应时间：≥ 15 psid 时<3 秒（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psid 时<3 秒（120 L/min）

Max非工作超压：827 kPa (120 psig)

工艺温度：10 - 65 °C (50 - 149 °F)

电气输入：24 VDC (± 10%) @ 1.2 A

设定点输入信号：4 - 20 mA、0 - 10 VDC

外壳：IP 54

重量：3.2 kg（7 磅）

符合认证：CE

大流量应用，如批量输送或工具液体分配、关键分配应用、化学品添加和混合、按需化学混合