无论是自动化、过程控制还是保障问题，都需要对液体化学品和 CMP 泥浆进行准确的流量控制，因此仪表须清洁、准确和可靠。Entegris 采用新型的电子技术和高纯度材料，设计出的液体流量控制器，可更好地控制工艺流量变量。NT集成流量控制器 (IFC) 6500 型专为高纯液体化学仪器和浆料应用而开发。该仪器的阀座和隔膜设计用于大限度地减少死体积和流体剪切力，从而降低工艺污染的可能性。IFC 6500 型的润湿部件采用含氟聚合物，非润湿部件采用惰性材料，可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。NT IFC 6500 型采用双聚四氟乙烯阀门隔膜，用于流体密封和污染保护。采用的电动阀和流量计技术，封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。该装置由设定点信号（即 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC）激活，以将流体流量保持在所需的设定点。

用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面

非金属组件具有耐腐蚀性

内置压力传感器提供额外的过程信息

在关键分配应用中可获得百分之一 (1%) 的满量程精度

占地面积小，便于在空间有限的地方进行现场安装

快速响应，实现准确的分配率

产地：美国

润湿部件阀体材质：PTFE

润湿部件膜片材质：PTFE

传感器接口材质：PFA 或 CTFE

主 O 形圈材质：Perfrez

非润湿部件：聚丙烯、FEP、PVDF 和氟橡胶（除上述材料外）

工艺温度：10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

电气输入：24VDC（± 10 %）@ 1 A

电气输出：两个 4-20 mA 电气隔离输出，一个用于流量，一个用于压力

流量测量：

在 20-满流量范围内为满量程的 ± 1 %

流量范围的 10-20% 时为满量程的 ± 2.5 %

(使用去离子水在 23 °C [73 °F] 下进行校准）

重复性：流量范围 20-满 时，满量程的 ± 0.5 %；流量范围 10-20 % 时，满量程的 1 %。

压力测量范围：0 至 414 kPa (0- 60 psig)

Min工作压力（入口处）：69 kPa (10 psig)

Max工作压力：414 kPa (60 psig)

过压限制：690 kPa (100 psig)

压力测量精度：满刻度的 1 %（包括线性、滞后和重复性的综合影响）

电气外壳：IP54

可靠性：浸湿部件，>300 万次循环

响应时间：< 3 秒（10 % 至 95 % 满量程流量范围）

设定点输入信号：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

符合认证：CE

用于关键分配应用的持续流量控制、CMP 泥浆分配，取代现有蠕动泵、用于化学品添加和混合的批量控制、按需化学混合应用