在 CMP 浆料应用中实现线性、可靠的比例控制，NT 6300 型比例控制阀专为高纯应用而开发。该阀与高腐蚀性工艺兼容，专为 CMP 浆料应用而设计，是解决当今流量控制需求的适配选择。该阀的润湿件采用 PFA 和 PTFE 材料，非润湿件采用惰性材料，可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。采用电机驱动技术，内部电子元件可控制阀门步进电机的所有方面。阀门的驱动采用 Entegris 新型算法设计，以保持所需的设定点。

PTFE 润湿表面，具有广泛的化学兼容性，适用于高纯度应用。

非金属外部元件，耐腐蚀性延长了产品使用寿命

双隔膜结构，防止电机和电子元件接触化学品 保护工艺免受污染

优化的阀座和隔膜设计，很大限度地减少死体积和流体剪切力，实现从全关到全开的可靠控制

占地面积小，便于在空间有限的地方安装

新型的电机驱动技术，提供平滑、准确的线性控制

产地：美国

流体部件本体材质：PFA

隔膜材质：PTFE

非润湿部件材质：聚丙烯、氟橡胶、PVDF

响应时间：5 至 95 % 满刻度< 2 秒

压力范围：-100 至 414 kPa（-14.5 至 60 psig）

过压限制：689.5 kPa (100 psig)

过程温度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

电气输入：24 VDC ±10 %，稳压

设定点输入信号：4-20 mA、0-10 VDC、0-5 VDC；还包括单独的归位线

CV：0.68

入口/出口接口：3/8 英寸 Flaretek管接头

电气接头类型：FEP 护套 12 英尺（366 cm）尾纤电缆

外壳：NEMA 5/ IP 54

连接类型：Flaretek 管接头

符合认证：CE

用于任何模拟控制回路、关键分配、化学品添加和混合的控制、温度、压力、流量、电导率等任何独立模拟传感器的闭环控制