用于在线液体化学品应用的过程监控。InVue CR288 浓度监测仪配有 288-connect 软件包，可为使用点的化学品/混合物混合、添加和稀释提供实时信息，而不会造成过程干扰或中断。基于 PC 的图形用户界面和 LCD 显示屏集成了数据采集、分析和现场校准功能，并提供方便、可扩展的数据接口和采集选项。光学系统可计算实时浓度和温度补偿数据，从而提高生产率。InVue CR288 浓度监测仪通过了 USP VI 级标准认证，可平稳集成到生物过程中进行在线浓度监测。

通过折射率 (IoR)，这款高性价比、高性能的浓度监测器可提高工艺效率，用于监测 BEOL、FEOL 和子工厂化学品混合和输送系统。

随附的 288-connect 用户软件可在几分钟内完成现场校准，从而降低拥有成本、DDU、GUI和软件简化编程和使用

设备占地面积小，可直接与工艺化学品轻松安装在一起

小型化传感器，分析系统的敏捷封装，实现定制和设计灵活性

比其他技术更快地实现准确性

即使使用非导电流体，也能准确重复地测量浓度

轻松集成到新工具或现有工具中

传感器没有耗材，更换零件更少意味着硬件维护少

产地：美国

流动池材质：聚四氟乙烯

光学窗口材质：半导体级蓝宝石

电缆和帽盖材质：聚丙烯 (PP)

电缆和阀盖材质：聚丙烯 (PP)

流体压力额定值：0 至 5.5 巴（0 至 80 psig）

额定流体温度：5 至 50 °C (41 至 122 °F)

工艺流体折射率范围：1.28000 至 1.40000

DDU 运行参数

电源要求：24 V (DC) ± 5 %，Min 0.5 A

附带电源输入要求：110/ 240 VAC，50/ 60 ± 3 Hz

串行端口：RS-232

模拟输出：4-20 mA

电气连接器：符合 IP67 标准，12 极，1 A，面板安装型

工作环境：室温 - 25 ± 5 °C (77 ± 9 °F)

机器接口：4-20 mA RS-232：模拟，可扩展分辨率 数字串行接口

软件：基于 Windows 的界面，用于用户设置、校准、监控和记录多达四个传感器的数据。系统要求 Windows 98 或更高版本、128+MB 内存、CD-ROM。

湿化学应用、BEOL 和 FEOL 清洁、化学机械平坦化 (CMP)、电镀、光刻