无论是自动化、过程控制还是保障问题都需要压力测量，仪器须清洁、准确、可靠。为满足半导体行业的需求，Entegris 将电子传感技术与高纯度材料相结合，创造出可更好地控制过程变量的产品。NT 压力传感器不含任何可能污染工艺的活动部件或填充液。非金属传感器的润湿部件由 PTFE 和其他高纯度含氟聚合物组成。标准电气连接采用 FEP 护套尾纤，因此传感器可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。这些传感器采用非金属压力传感技术，测量准确可靠。所有产品均在出厂前进行校准和检验，无需进行现场校准或调整，从而降低安装速度。标准电子输出可与 PLC、控制系统和电子显示器轻松集成。

在高纯度应用、腐蚀性化学品和 CMP 泥浆中提供可靠的压力测量

出厂前经过完整的功能测试，精度为满量程的 1 %

无活动部件或填充流体，降低污染可能性

流通设计很大限度地减少了死体积，降低了污染可能性

适用于高纯度应用的 PTFE、PFA、CTFE 和 Perfrez 润湿表面

符合行业标准的 PrimeLock 和 Flaretek 扩口连接可减少夹带区域、Min占地面积、提供系统设计灵活性并简化安装

产地：美国

主体材质：PTFE

传感器接口材质：PFA 或 CTFE

主密封材质：Perfrez

非润湿部件材质：聚丙烯、聚乙烯、氟橡胶、PVDF（除上述材料外）

压力范围：0 至 207 kPa (0 至 30 psig)；0 至 414 kPa (0 至 60 psig)；0 至 690 kPa (0 至 100 psig)

过压限制：满量程范围或接头Max额定压力的 150 %

工艺温度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)；65 至 95 °C (149 至 203 °F)

工艺连接选项

Flaretek 卡套管接头：1⁄4 ", 3⁄8 ", 1⁄2 ", 3⁄4 ", 1 "

PrimeLock 管接头：1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

超 300 型支柱管接头：1⁄4 "、3⁄8 "、1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

电气输入：24 VDC (12 至 30 VDC 输入电压)

电气输出：4 至 20 mA, 0 至 5 VDC, 0 至 10 VDC

参考精度：±1 % 满量程（包括线性、滞后和重复性的综合影响）

电气外壳：IP 54

符合认证：CE

化学品和去离子水分配、过滤器寿命监测、再循环回路中的背压、使用点分配、工具优先级