VPM-15 TriCAP 传感器为各种真空应用提供了一体化宽量程测量解决方案，从而确立了新的标准。与其他真空计不同的是，它具有成本效益，测量范围从 5.0E-3 到 1333 毫巴，不依赖于气体，同时还能利用热损失原理测量低至 1E-6 毫巴的真空。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力存在偏差。TriCAP 传感器采用电容式膜片真空计 (CDG) 传感器，减免了对气体的依赖性，在气体性质发生变化时也能提供准确的测量。集成的热损耗 MEMS Pirani 传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar，并提供新颖的电容式压力计自动调零功能，从而消除了传统电容式膜片真空计手动调零的常见需求。VPM-15 TriCAP 是一款新型多传感器真空计，是传统皮拉尼真空计应用的性能升级之选，也是使用单独电容式压力计和皮拉尼真空计的应用的成本优化型一体化解决方案。

测量范围从 1×10^-6 到 1333 毫巴（7.5×10^-7 到 1000 托）

与气体无关的传感器，测量范围从 5×10^-3 到 1333 毫巴

超宽量程高性能 MEMS 皮拉尼传感器

坚固耐用的陶瓷电容隔膜真空计   

可安装在任何方向而不影响性能

可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真

数字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空过程控制的三个固态设定点

可直接替换 MKS 925 MicroPirani 和 910

紧凑型多传感器解决方案

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 公共端

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 NC（常闭触点）

14 继电器 3 公共端

15 继电器 3 常开（常开触点） 可选继电器

编程设备

RS-232 转 USB，15 针 HD D-sub，电源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 转 USB，15 针 HD D-sub，电源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 编程器，1.5 米电缆 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 编程器，1.5 米电缆 PRG-RS485-DS15 RS-485

校准证书

DAkkS 实验室认可的校准证书。cal-vpm15-dakss

电缆

15 针 HD D-sub 母头至 15 针 D-sub 公头，带 3 m 电缆 CAB-F15DSM15DS-003

15 针 HD D-sub 母头转 15 针 D-sub 公头，带 5 米电缆 CAB-F15DSM15DS-005

15 针 HD D-sub 母头转 15 针 D-sub 公头，带 10 m 电缆 CAB-F15DSM15DS-0105

产地：丹麦

测量范围：1×10^-6 至 1333 mabr（7.5×10^-7 至 1000 托）

测量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mabr：MEMS 皮拉尼热导率

测量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mabr：混合 MEMS 皮拉尼/CDG 读数

测量原理 5.0×10^-3 至 3.99 mbar：电容式隔膜真空计 (CDG)

测量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 压电 / CDG

测量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 压电电阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：读数的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mabr：读数的 5 %

精度 1E-2 至 800 mabr：读数的 0.5 %

精度 800 至 1099 mabr：读数的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mabr：读数的 0.5 %

真空温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

模拟输出分辨率：16 位 (150 µV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mabr（3.75×10^-6 至 1000 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器触点耐久性：无限制（无机械磨损）

固态继电器认证：UL 认可：文件 E76270；CSA 认证：证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

存储环境温度：-20 至 +80 ℃

烘烤温度（非工作）：+80 ℃

Max介质压力：4 巴压力_Abs

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

PVD 涂层、冷冻干燥终点检测、熔炉热处理、皮拉尼校准、质谱仪、扫描电子显微镜