VDM-5 传感器为各种真空应用提供了一体化测量解决方案，确立了新的标准。与其他真空计不同的是，VDM-5 可在 5.0E-3 至 1333 mbar范围内进行不依赖于气体的整体测量，具有很高的性价比。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力存在偏差。VDM-5 传感器采用电容式膜片真空计 (CDG) 传感器，减免了对气体的依赖性，在气体性质发生变化时也能提供准确的测量。集成的热损耗 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar，并提供了一种新颖的电容式压力计自动零点调整功能，从而减免了传统电容式膜片压力计手动零点调整的常见需求。用户可对传感器设置和参数进行编程，以控制真空系统和应用过程参数。数字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放，以及获取实时真空压力测量值，以便在屏幕上进行可视化。串行 USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，为传感器编程、实时测量和诊断提供了即插即用的解决方案。

测量范围为 5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

与气体无关的隔膜传感器

陶瓷电容隔膜真空计和压电隔膜   

可安装在任何方向而不影响性能。

可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真

数字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空过程控制的三个固态设定点

可选配用于侵蚀性环境的聚对二甲苯传感器涂层

经济实惠的紧凑型多传感器解决方案

15 引脚 HD D-sub RS-232 / RS-485引脚说明

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 常开触点

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 共用

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）  或模拟输出 2

14 继电器 3 共用

15 继电器 3 常开（常开触点）

RS-232 / RS-485 转 USB 转换器，带墙插电源

用于 VPM-5 SmartPirani 传感器的 USB 转串口转换器，带墙插电源。

部件号 说明

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 转 USB, 15 针 HD D-sub, 电源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 转 USB, 15 针 HD D-sub, 电源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB，9 针 D 型超微，电源 (90 至 230 VAC)

产地：丹麦

测量范围：5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

测量原理 5×10^-3 至 3.99 mbar：电容式隔膜真空计 (CDG)

测量原理 4 至 5 mbar：混合 CDG / 压电读数

测量原理 5 至 1333 mbar：MEMS 压电电阻膜片

精度 5×10^-2 至 800 mbar：读数的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：读数的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：读数的 0.5 %

精度 100 至 800 mbar：读数的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：读数的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：读数的 0.5 %

磁滞 1×10^-2 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滞 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

真空温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

模拟输出分辨率：16 位 (150 µV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间（ISO 19685:2017）：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器触点耐久性：无限制（无机械磨损）

固态继电器认证：UL 认可： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

存储环境温度：-40 至 +80 ℃

烘烤温度（非工作）：+80 ℃

Max介质压力_Abs：4 bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP 40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

外壳材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061

真空处理法兰（介质浸湿）：不锈钢 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（与介质接触） 标准版本：316 不锈钢、氟橡胶、硅、玻璃硅石、低放气环氧树脂、焊料、RO4305

真空暴露材料（与介质润湿） 聚对二甲苯保护型：316 不锈钢、氟橡胶、聚对二甲苯

真空暴露材料（与介质润湿）陶瓷保护型：316 不锈钢、氟橡胶、氧化铝陶瓷 (AI₂O₃)

工艺泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：欧盟指令 2015/863

器械灭菌、半导体加工、PVD 涂层、CVD 加工、分析仪器、真空炉、空间模拟